低温等离子体处理机所产生的低温等离子体含有独有的化学和物理特性，可应用于等离子体清洗、等离子体腐蚀、等离子体接枝聚合、等离子体活化、等离子体沉积、等离子体脱胶等表层改性过程。     

低温等离子体对聚合物材料和金属表面进行表面改性。高分子含有分子可设计性，通过低温等离子体表面层活化的作用，可以在聚合物表面形成亲水性、疏水性、润湿性、粘结性等多种基团，引入含有生物活性的分子或生物酶来改善聚合物的生物相容性。应用低温等离子体处理设备技术对高分子材料表面进行改性处理，除了提高了高分子材料在特定环境中的适用性，而且拓宽了高分子材料的应用范围。

低温等离子体处理设备的表层活化是指物体经等离子处理设备清洗后，表层的亲水性增强，粘接度和附着力增加的低温等离子处理机的表层腐蚀是指材料通过反应气体有选择地腐蚀，腐蚀后的材料变成气相，被真空泵排出，清洗后的材料比表面积稍微增加。

使用低温等离子处理设备，等离子体中含有大量的离子、激发态分子、自由基等多种活性颗粒，作用于样品表层，除了能清除样品表层原有的有机或无机污染物等杂质，还能所产生刻蚀作用，使样品在表面处理，达到凹蚀刻的效果，形成许多细小的凹陷放大镜下观察，增加样品的比例，提高材料之间的附着力、持久性和材料表层的润湿性。