离子体中的自由基电性强，存在时间长，比离子体多。在等离子体中，自由基是挥发性很强的，它的效用主要是在化学反应过程中能量传递的活化，在激发态下自由基能量很高，易于与材料表面的分子结合，形成新的自由基。此外，当自由基与材料表面分子结合时，会释放大量的结合能量，这将产生新的表面反应推动力，从而消除材料表面物质之间的化学反应。

由于电子与材料表面的碰撞，会促使吸附在表面的气体分子分解解吸，而电子的大量碰撞则有利于产生化学反应。因为电子质量很小，所以比离子的移动速度要快得多，在等离子体处理过程中，电子比离子早到达材料表面，使表面产生负电荷，有利于引起进一步的反应。

低温等离子清洗中通常指带正电荷的阳离子的效用，它会加速冲入带负电荷的表面，这就是我们所说的，使材料表面获得相当大的动能，以撞击除去表面依附的颗粒状物质，这种现象叫做溅射，而且通过离子的冲击力，材料表面发生化学反应的几率会大大增加。

UV具有很强的光能量，能够破坏和分解附在材料表面的分子键。此外，紫外线具有很强的渗透性，可以通过材料表面深度达到几微米。总之，低温等离子清洗是利用等离子体内各种高能物质及活化效用，将依附于材料表面的污迹全面剥除除去。