等离子表面处理机环境对许多化学变化都有利，具体反应的发生与否主要取决于输入的工艺参数，如气体种类、流速、压力、输入功率等。 等离子表面处理机形成的等离子体是由多种颗粒组成的复杂体系催化大部分为粘附了金属材料活性成分的多孔介质，当催化与等离子体触碰时彼此之间会形成相应干扰。催化的物理化学性能等产生变化，从而提高催化的活性和稳定性等离子体的颗粒类别和浓度值产生变化推动等离子体化学变化。

只有当分子的能量超过活化能时，才能发生化学变化。常规化学中，这种能量是通过分子之间或分子与壁之间的碰撞来传递的。对等离子体而言，一方面，可以逐步提高振动能量，使其转化为非常低的反应能量；另一方面，电子与分子碰撞，使中性分子转化为多种活性成分，或使中等粒子电离，其主要成分主要是超活性中性粒子、阳离子和阴离子。

在常规化学变化不能形成大量新成分的情况下，等离子表面处理机成了一种功能很强大的化学手段，担负起了催化角色。一般情况下，温度较低的反应或者给定温度下速率加快的反应都是受到了等离子表面处理机的干扰。