等离子体是一类物质状态，也叫第四态。在气体中加入足够的能量，这样它就会离化成等离子态。等离子中的“活性”成分包括：离子、电子、活基、激发态(亚稳态)和光量子等。等离子处理机是应用这种活性成分的特点来处理试品的表面，以满足清洁等目的。

等离子表面处理设备，适用等离子清洗、活化、蚀刻等多种应用，设备能在严酷环境下稳定运行，满足高均匀性的应用效果。低温等离子设备是一类小型、便宜的台式等离子清洗设备，可用于纳米级表面清洁和小型样品的活化。

等离子处理机是应用能量转换技术，在一定的真空负压下，把气体经过电能转化成活性很高的气体等离子体，气体等离子体轻缓地洗涤固体试品表面，引起分子结构的变化，从而实现对试品表面有机污染源的超清洗，在很短的时间内，有机污染源被机械泵抽干，其清洗能力可达分子级。材料的表面特征在一定条件下也会发生变化。