等离子体是由正离子、负离子、自由电子等带电粒子和不通电的中性粒子组成的电离汽体，如激发态分子及其氧自由基。由于其正负电荷一直相同，被称为等离子体，是成分常见的固态、液体和汽体以外的第四态。

一些不聚合的无机汽体(Ar2.N2.H2、02等。)在高频低电压下被刺激，产生许多活性粒子，如离子、刺激态和氧自由基。通常在等离子体清洁机中，活化汽体可以划分为两大类：一种是稀有气体的等离子体(如Ar2、N2等)；另一种是反应性气体的等离子体(如02、H2等)。

原子团等氧自由基与物体表面的反应：氧自由基是电中性的，主要表现在化学反应过程中能量传递的激活作用上。通过与物体表面的分子发生化学反应，不断产生新的氧自由基，释放出大量的结合能，成为引起新表面反应的驱动力，从而导致物体表面的成分发生化学反应并被去除；电子与物体表面的作用：电子对物体表面的冲击可以促进吸咐在物体表面的气体分子的分解或解吸，携带负电荷有利于引起化学反应。离子与物体表面的作用：带正电荷的阳离子有加速冲向带负电荷表面的倾向，使物体表面获得相当大的动能，足以冲击去除附着在表面的颗粒物。