目前等离子清洗技术在光学、光电子学、电子学、材料科学、高分子、生物医学、微流体力学等领域得到了广泛的应用。等离子清洗机Plasma Cleaner又被称为等离子蚀刻机、等离子去胶机、等离子活化机、Plasma清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。通过等离子清洗机的表面处理，能够改善材料表面的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、涂镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。

等离子清洗机能移除光学元件、半导体元件等表面的光阻物质，去除金属材料表面的氧化物。例如玻璃光学镜片通过借助等离子表面处理技术，树利用能量转换技术，在一定的真空负压状态下，以电能将气体转变成活性极高的气体等离子体，气体等离子能轻柔地冲刷固体样品表面，引起分子结构的改变，从而达到对样品表面有机污染物进行超清洗，从而在极短的时间内实现超清洗，从而达到对样品表面有机污染物的超清洗。在一定条件下，样品的表面性质也会发生变化。