工艺冷却水是工业生产中常用的控温介质，其应用十分广泛，根据使用种类主要分为无尘车间冷却、过程设备冷却、生产过程冷却等，在真空等离子清洗机表面处理中的应用可归结为工艺过程设备冷却。许多人也许会想，等离子清洗机难道不是低温等离子体使用的设备吗，为什么会用到过程冷却水里，又怎么能正确使用呢？接下来我们来看看它。

一、等离子清洗机的工艺冷却水应用：

（1）冷却真空等离子清洗机的电极板：

真空等离子体清洗机产生的等离子体温度很低，但是在使用过程中，如果使用功率较大或处理时刻过长，就会出现电极板温度升高的情况，而等离子体清洗机一般也会处理一些对温度比较敏感的产品，这时就需要根据用户的要求给电极板降温，以达到使对腔内温度稳定在要求范围的目的。

（2）等离子发生器的冷却：

等离子体清洗机的等离子体发生器是该设备的核心部件，一般小型等离子体清洗机使用功率较小，等离子体发生器自身产生的热量较小，一般会选择风冷除温的方法。而大型等离子清洗机都是会使用输出功率较大的等离子发生器，工作时自身产生的热量也很大，为了保证设备使用的稳定性，延长使用寿命，采用工艺冷却水除温的方法来冷却。

（3）真空泵冷却：

真空泵在使用过程中无润滑油冷却，机械结构之间又产生了很高的摩擦温度，如真空泵在没有冷却的情况下工作时，会出现转子或螺杆抱死的情况，造成报废。因此，真空泵在使用中需要实时冷却，所采用的方法就是采用过程工艺冷却水冷却。

局部干泵在设计时为了保证降低电机噪音，更好地做好电机保护，一般还会选择水冷式电机，也需要工艺冷却水进行实时降温。

二、等离子清洗机的工艺冷却水应用：

（1）等离子清洗机工艺冷却水：

等离子清洗机所使用的工艺冷却水主要有两种来源，冷却水的供给和用户端的循环供水。对于大型等离子清洗机，要求配置独立的冷却水机组，以保护设备。

（2）工艺冷却水的一般要求：

根据实际需要调整等离子清洗机的冷却水温度一般控制在20~50℃，压力一般在0.3~0.5MPa，流量一般在2~7SLM之间。根据实际应用需要，需要确定操作参数的取值范围。

（3）工艺冷却水的实时监测与控制：

所有需要冷却的都是关键部件，如出现温度过高或压力不足将形成产品报废和设备部件损坏的情况，因此实时监测非常重要，一旦超过要求规模就必须立即报警停止生产。

一般情况下，等离子清洗机的冷却水压力和流量监测由水流开关完成，水流开关分为机械式和数量式，需要串联应用于进水管，当压力或流量太小时，输出信号，完成设备的报警功能。一般是在每个温度控制部件的入口安装独立的水流量开关，以确保其稳定可靠。

通过在各部件上安装温度传感器，冷水机信号输出，各部件自带温度传感器信号输出，选择出具体的实现方法，从而实现温度报警。实际应用中为了保证真空等离子表面处理设备运行的稳定性，一般会选择多种方法同时使用。