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PET薄膜材料因具有较好的抗疲劳性、强韧性、高熔点、优异的隔离性能、耐溶剂性能以及出色的抗褶皱性能，在包装、防腐涂层、电容器制备、磁带甚至医药卫生等多种技术领域都有广泛应用。然而，由于PET薄膜材料表面自由能低，其润湿性、可粘接性以及可印刷性等加工性能较差，这对PET薄膜实际生产中的应用有很大的限制。因此，通
等离子表面改性技术是一种非常先进的清洗技术，简单来说，它就是等离子体和材料表面进行相互作用的过程，通过等离子体里面的各类活性粒子撞击材料表面，从而大大提高材料表面的性能。第一，等离子表面改性之后，其材料表面会变得更加粗糙，有时候表面行踪也会发生一段的变化，这就是等离子表面改性所起到作用，它让材料表面
通过对物体表面进行等离子轰击，可以达到对物体表面的蚀刻，活化，清洗等目的。可以显著加强这些表面的粘性及焊接强度，等离子表面处理系统现正应用于LCD、LED、IC、PGB，引线框架，平板显示器的清洗和蚀刻。电子、航空、健康等行业，可靠性都依靠于两个表面之间的粘结强度。不管表面是金属、陶瓷、聚合物、塑料或是其
半导体制造中需要一些有机物和无机物参与完成，另外由于工艺总是在净化室中由人的参与进行，所以半导体圆片不可避免的被各种杂质污染。根据污染物的来源、性质等，大致可分为四大类。氧化物半导体圆片暴露在含氧气及水的环境下表面会形成自然氧化层。这层氧化薄膜不但会妨碍半导体制造的许多工步，还包含了某些金属杂
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