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当前，自动化技术在工业、农业、军事等各个领域得到了广泛的应用，达到了减少人力、提高效率的目的。随着PLC的发展和进步，使真空低压等离子表面处理机不断向自动化、智能化方向发展，控制、操作的智能化，也让更多人选择自动化等离子表面处理设备。真空等离子机可以分为半自动和在线两种类型，在线的低压真空等离子机自动化
在生物材料中，除满足特定的功能外，生物相容性是必不可少的。生物体相容性分为血液相容性和组织相容性。前一种是物质和血液相互适应的程度，后一种是物质和血液以外的组织相互适应的能力。许多试验表明，低温等离子体技术确实可以有效地改善生物医用材料的血液相容性和组织相容性。1、血液相容性：移植到生物体中的材料需要
等离子体于1879年被发现，1928年被称为“plasma”，是一个微观系统，由大量相互作用但仍然处于非束缚状态的带电粒子组成，它们是除气态、液态和固态以外的物质第四态。利用电子温度和离子温度可以分别表示等离子体温度，plasma低温等离子体的电离率较低，离子温度甚至可以与室温相相差无几，因此，日常生活中有很多场景可以
氮硅Ni3N4材料的特性：Ni3N4是目前比较热门的新材料之一，它具有密度小，硬度大，弹性模量高，热稳定性好等特点，被应用于多种材料中。氮化硅可替代氧化硅用于晶圆制造，由于它的硬度高，可以在晶圆表面形成非常薄的氮化硅薄膜(在硅片制造中，使用广泛的薄膜厚度单位是埃)，厚度约为几十埃，可以保护晶圆表面，防止划伤，而
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