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氧和氩均为非汇聚气体，在等离子体与晶体表面二氧化硅层上的活性原子和高能电子相互作用后，破坏了原来的硅氧键结构，将其转化为非桥键，使其表面上激活，使其与活性原子的电子融合，使其表面生成许多悬挂键。同时，这些悬挂键以OH基团的形式存在，生成稳定的结构。经过浸渍机碱或无机碱的退火处理，表面的Si-OH键脱水
在工业制造操作过程中对电子元器件、电子光学构件、机械零部件、复合材料等表层的超纯净度清洗，以清除微乎其微污渍颗粒物，经常是一条十分核心的加工工艺。传统型的清洗方式通常为湿式清洗，伴着着如今智能产品的保持发展趋势这类清洗方式已显现出其严重的缺点，即清洗干躁之后的清洗液残留和细小颗粒物会黏附在表层，现已
等离子清洗机是借助等离子进行表层活化，等离子是一种高能量不稳定的状态。运用这样的高能量而又不稳定的状态，等离子有各式各样的运用。激发出等离子与物件表层形成物理和化学变化，进而实现提升被清洗物件表层附着性的目地，还可以叫低温等离子活化机。手机生产制造领域等离子清洗机的应用，智能手机生产制造的过程
玻璃盖板选用超声波清洗通常情况下会残余许多肉眼看不到的有机化合物和颗粒，这毫无疑问会对下一阶段加工工艺的进行留下风险。等离子清洗机能让玻璃盖板清洗得更加好的清洗，对玻璃盖板表层的首要清洗的作用是活化，能使有机污染物质化学变化成碳氢化合物，转化成CO2和水从玻璃盖板表层去除，推动下一阶段蚀刻加工、涂
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